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高精度超薄薄膜材料測量

       開放型的諧振腔Fabry-Perot諧振器(開腔型的一種)可以提供在毫米波范圍內超薄薄膜的相對介電常數(shù)和介電損耗角正切高精度的測量,使用Windows計算機軟件配套程序可自動進行測量,并且被測件的安裝和移除非常實用方便。


                                                           

                                        實物圖                                                                               原理圖                                                                                              測量軟件

 

       Fabry-Perot諧振器可以實現(xiàn)可滿足固體,薄膜,超薄膜(薄膜),多層結構(多層體),體模,噪聲抑制片,液體,粉末等等大部分材料的測試需求。例如可測量PTFE(鐵氟龍),PFA,F(xiàn)EP,ETFE,聚酰亞,尼龍,聚氨酯,聚乙烯,PVC,高純氧化鋁,藍寶石,石英玻璃,陶瓷,硅基底,絕緣膜,聚酰胺酰亞胺,乙醇,玻璃,鈉,PET,聚酰胺,甲醇,酯,多孔硅,多孔二氧化硅,low-k等材料。


      Fabry-Perot諧振器操作簡單,支持0.1μm超薄膜、10μm~0.1mm的薄膜,測試范圍 18GHz-110GHz進行εr±3%、tanδ±7%的高精度測量。可對固體,薄板,薄膜,粉末,液體(含油等),多層結構等進行測試,測試范圍10μHz-140GHz(使用多個設備)。


項目

規(guī)格內容

頻率

20~325GHz

相對介電常數(shù)

測量范圍:1.05~30 

反復精確程度:±1%或±0.01(取決于網絡分析儀的測量精度)

反復精確程度+對于真實數(shù)據的準確度(以PTFE為標準):±3%或±0.01(取決于測試理論和設計夾具的方法)

介質損耗因數(shù)

測量范圍:0.0001~0.05

反復精確程度:±3%或±0.0001(取決于網絡分析儀的測量精度)

反復精確程度+對于真實數(shù)據的準確度(以PTFE為標準):±7%或±0.0001(取決于測試理論和設計夾具的方法)

樣件形狀

<樣件尺寸>

120mm x 120mm以上 (20GHz)

80mm x 80mm以上 (50GHz)

<樣件厚度>

板材厚度為5 μm~0.2mm

或者半波長的整數(shù)倍

儀器尺寸

900mm(H) x 900mm(W) x 600mm(D)以內

500mm(H) x 700mm(W) x 300mm(D)以內(單面扁平型)

溫度范圍

常規(guī)版本:室溫

特殊版本:請指定您的需求